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          手動位移平臺預緊力對固有頻率會產生什么影響嗎

          來源:http://www.ps3manual.com/news542871.html 發布日期: 2021-01-15 16:52:00

          手動位移平臺預緊力對固有頻率會產生什么影響嗎:

          從實驗中可以得知,精密手動位移平臺的預緊力(f)越大,工作臺的剛度(δi)越高。關系曲線如圖8所示。根據有限元分析,隨著f的增加,固有頻率逐漸增加。當將10μm的位移負載施加到微動平臺x時,固有頻率從737 hz增加到1 973 hz,即,f對微動平臺的固有頻率具有決定性的影響。通過實驗和有限元分析,可以知道微動平臺的固有頻率和δi隨著f的增加而增加。

          精確的手動位移平臺可以從參數分析和實驗的結果中獲知。在設計工作臺時,不僅要考慮柔性鉸鏈的尺寸對工作臺固有頻率的影響,而且還要考慮在微動工作臺加工過程中線切割對微動的影響。工作臺的影響以及安裝過程中預緊力對工作臺整體性能的影響,從總體上看結構設計:

          光學調整架,手動位移平臺
          ①由于線切割工藝的限制,鉸鏈的厚度t不應小于0.3 mm。

          ②在工作臺鉸鏈上的應力小于材料的允許應力的條件下,選擇合適的工作臺剛度并最大化工作臺的固有頻率。

          ③通過調整x和y方向上雙鉸鏈的尺寸,可以使x和y方向上的固有頻率和剛度更接近,從而使兩個方向上的性能相似,這有利于工作臺的控制。

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